1、采用各種能源方式轉換成熱能， 加熱膜材使之蒸發或升華， 成為具有一定能星 ( 0霉 1/'"->J0 . 3 e V) 的氣態粒子（原子、分子和原子團）；

2 、離開膜材表面，具 有相當運動速度的氣態粒子以基本上無碰撞的直線飛行輸運到基體表面；

3、到達基體表面的氣態粒子凝聚形核后生長成固相薄膜；

4、組 成 薄 膜 的 原子重組排列或產生化學鍵合；