各種沉積手段的混合運用也是上海PVD技術的最新進展之一，經過多種粒子源的組合運用，可以消除單一沉積手段的缺點，獲得良好的效果，如在離子鍍中，采用脈沖激光作為蒸發源，而后對蒸氣進行等離子體化，加上偏壓，這樣既可以提高沉積效率，又可以改善沉積粒子的活性，提高沉積能量。在蒸鍍中，采用熱絲電子發射，使蒸氣原子離化，就可以對基片加上偏壓，獲得具有轟擊效果的沉積膜層。

真空陰極電弧和磁控濺射技術組合沉積技術，也是近年來實際應用到工業生產中的一種復合技術。等離子體的引入，可以同時對濺射中的原子進行離化；同時，濺射又可以輔助電弧沉積的穩定性。

由于應用對象的不斷擴展，PVD處理的材料由原來的刀具等硬質合金材料不斷向中低合金鋼、模縣鋼，乃至有色金屬等材料類型擴展。為保證PVD表面處理后被處理件整體的性能不下降，降低PVD處理溫度，在較低的溫度下獲得性能優良的沉積層，已成為PVD技術研究的一個主要問題。

磁控濺射是PVD技術中低溫沉積最有效的方法。磁控濺射時，電子被暗場罩或專門附加的陽極吸收掉，得到基體的溫度比傳統濺射的要低，通過一些特殊的手段可以使基體的溫度降至接近室溫，可使塑料或其他溫度敏感材料作為基體進行沉積處理。1998年Teel Coating Ltd.提出了在低溫下采用磁控濺射沉積高質量TiN、TiCN鍍層的技術，基體溫度可降至低于70℃，從而擴大了類似鍍層可能應用的范圍。英國的Loughborough大學近年來成功地在室溫條件下使磁控濺射過程中的基體溫度從350～500℃降低到150℃左右，并成功地將TiN、CrN涂層用于人工牙齒模具表面和銅焊接觸頭表面，提高了其使用壽命5～10倍。可以看出，低溫沉積方法及工藝研究是非常有意義的，也是很有前途的。