真空鍍膜設備其實是由很多不同的零件組成的，它們都是經過各種機械加工完成的，例如車、銑、刨、磨、鏜、焊接等。這樣，零件表面不可避免地會沾上許多加工油脂、汗痕、拋光膏、焊劑、金屬屑、油垢等污染物。這些污染物在真空中易揮發，影響真空鍍膜設備的極限壓力和性能穩定性。此外，污染物在大氣壓下吸附了大量的氣體，在真空環境中，這些氣體也要被釋放出來，構成了限制真空鍍膜設備極限壓力的因素。為此，零件組裝前必須清除掉污染物。

    此外，真空鍍膜設備在使用過程中，零件還會受到污染。這種污染與使用條件及真空泵有關。例如:真空鍍膜機的內壁會被蒸鍍材料污染;真空鍍膜設備真空抽氣機組的機械泵油更是污染源，設備長期工作后會使設備內部形成明顯的油膜。這些污染同樣會影響設備的性能，應注意隨時清除。