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PVD真空鍍膜機鍍膜技術工藝步驟及原理

時間:2020-09-16    點擊數:

廠家在采購PVD真空鍍膜機時,PVD真空鍍膜機的相關知識,如鍍膜技術工藝步驟、原理、保養維護方法,機器的運行注意事項等等,今天小編為大家介紹一下PVD真空鍍膜機鍍膜技術工藝步驟和原理。

PVD真空鍍膜機鍍膜技術工藝步驟,分為以下四個步驟:
        (1)清洗工件:接通直流電源,氬氣進行輝光放電為氬離子,氬離子轟擊工件表面,工件表層粒子和臟物被轟濺拋出; 
        (2) 鍍料的氣化:即通入交流電后,使鍍料蒸發氣化。 
        (3)鍍料離子的遷移:由氣化源供出原子、分子或離子經過碰撞以及高壓電場后,高速沖向工件; 
        (4)鍍料原子、分子或離子在基體上沉積:工件表面上的蒸發料離子超過濺失離子的數量時,則逐漸堆積形成一層牢固粘附于工件表面的鍍層。
 
         如果是鍍離子鍍時,蒸發料粒子電離后具有三千到五千電子伏特的動能,高速轟擊工件時,不但沉積速度快,而且能夠穿透工件表面,形成一種注入基體很深的擴散層,離子鍍的界面擴散深度可達四至五微米,也就是說比普通真空鍍膜的擴散深度要深幾十倍,甚至上百倍,因而彼此粘附得特別牢。
 
         PVD (Physical Vapor Deposition) 即物理氣相沉積,分為:真空蒸發鍍膜、真空濺射鍍膜和真空離子鍍膜。我們通常所說的 PVD 鍍膜,指的就是真空離子鍍膜和真空濺射鍍;通常說的 NCVM 鍍膜,就是指真空蒸發鍍膜。PVD真空鍍膜機鍍膜工藝原理分為以下三種情況: 
      (1)真空蒸鍍基本原理:在真空條件下,使金屬、金屬合金等蒸發,然后沉積在基體表面上,蒸發的方法常用電阻加熱,電子束轟擊鍍料,使蒸發成氣相,然后沉積在基體表面,歷史上,真空蒸鍍是 PVD 法中使用最早的技術。 
      (2)濺射鍍膜基本原理:充氬(Ar)氣的真空條件下,使氬氣進行輝光放電,這時氬(Ar)原子電離成氬離子(Ar),氬離子在電場力的作用下,加速轟擊以鍍料制作的陰極靶材,靶材會被濺射出來而沉積到工件表面。濺射鍍膜中的入射離子,一般采用輝光放電獲得,在 l0 -2 Pa~10Pa 范圍,所以濺射出來的粒子在飛向基體過程中,易和真空室中的氣體分子發生碰撞,使運動方向隨機,沉積的膜易于均勻。 
      (3)離子鍍基本原理:在真空條件下,采用某種等離子體電離技術,使鍍料原子部分電離成離子,同時產生許多高能量的中性原子,在被鍍基體上加負偏壓。這樣在深度負偏壓的作用下,離子沉積于基體表面形成薄膜。

本文網址:http://www.chebo.net.cn/news/472.html

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