關于濺射靶材和蒸發材料的正確程序處理，這里僅需提及幾件事。大多數沉積材料相當堅固，但根據特定的組成或化學計量，某些材料可能會非常脆弱，某些材料可能會很脆，而某些材料可能會非常有毒。首先，強烈建議所有與處理任何特定材料有關的人員首先閱讀，然后按照與任何給定成分相關的“材料安全數據表”或“表”中列出的安全程序進行操作。

將大多數產品包裝在真空密封的聚丙烯包裝盒中。這防止了水分和/或空氣可能污染產品或與產品發生反應。從該保護性外層打開產品后，應使用某種形式的防護手套（乳膠，棉布，無絨等）來處理該材料，以防止該材料與手部的水分反應并保護操作人員身體上的傷害或反應。如果使用的材料有毒，如有必要，戴上呼吸面罩或面罩。

如果材料是與空氣（氧氣，氮氣，氫氣，水蒸氣等）接觸時容易分解或分解的東西，請確保從到達目標到準備就緒為止，將目標存儲在真空干燥器或受控的環境中。裝入室內使用。當與環境發生反應時，由于膨脹/收縮作用，許多陶瓷或粉末冶金產品材料會簡單地粉碎成離解的粉末或裂紋。

在沉積過程中使用后，出于操作安全的考慮，也應格外小心地處理這種高反應性產品，并防止對靶材本身造成任何可能的損壞。根據所用材料的具體成分，建議在沉積過程后用惰性氣體回填腔室，該惰性氣體將保護靶材的表面并在沉積腔室的各個表面上提供保護層。其他相關的反應性表面。同樣，在通過防護服（手套，口罩，呼吸系統等）打開腔室后，應小心保護操作人員和目標材料，并立即將用過的目標物放回非反應性環境中，直到再次需要供將來使用。